我国传感器制造行业发展始于20世纪60年代,在1972年组建成立中国靠前批压阻传感器研制生产单位;1974年,研制成功中国第一个实用压阻式压力传感器;1978年,诞生中国靠前个固态压阻速度传感器;1982年,国内早开始硅微机械系统(MEMS)加工技术和SOI(缘体上硅)技术的研究。
20世纪90年代以后,硅微机械加工技术的对压力传感器、微压传感器、呼吸机压传感器、多晶硅压力传感器、低成本TO-8封装压力传感器等相继问世并实现生产,传感器技术及行业均取得显著进步。
进入21世纪,传感器制造行业开始由传统型向智能型发展。智能型传感器带有微处理机,具有采集、处理、交换信息的能力,是传感器集成化与微处理机相结合的产物。由于智能型传感器在物联网等行业具有重要作用,我国将传感器制造行业发展提到新的高度,从而催生研发热潮,市场地位凸显。
同时,受到汽车、物流、煤矿安监、安防、RFID标签卡等优先域的需求拉动,传感器市场也得到快速扩张。到2017年,中国传感器制造行业规模以上企业销售收入总额达到747.78亿元,同比增长10.02%。